ワイヤープローブはタングステンなどの極細線に特殊メッキ及び絶縁コーティングを施したもので、ワイヤーが縦方向に押されるときに発生する「たわみ」をコンタクト加重に利用しています。ワイヤーの太さは１１０μｍから２０μｍまであり、プローブ自体はもちろん各種検査ヘッドに用いた場合でも構造がシンプルなため、耐久性、メンテナンス性に非常に優れています。

各サイズのプローブにはそれぞれ、半円形状、ニードル形状、フラット形1状の3種類のプローブ先端形状があります。被検査物の特性・形状や、検査用途によって自在に選択することが出来ます。

ワイヤープローブを使用した治具の構造はとてもシンプルです。樹脂やセラミックス等の複数のプレートに検査位置に合わせた精密な穴をあけ、そのプレートを支柱を使って組み上げることで、プローブのガイドとなる構造のブロックを作り、その片方の穴よりワイヤープローブを挿入し被検査物へコンタクトする、ジグヘッド部を作製します。プローブ後端側には、エナメル線や導電性ブロックを埋め込んだプレートで電極部を作製します。電極配線の先にはコネクタ接続処理等を行って出荷致しますので、あらゆるテスターや検査装置へ接続する事ができます。

※ 治具構造や板材料の違いにより、ピン荷重は変化します。

プローブ先端部のプレートと後端部のプレート間でのプローブの『たわみ』を生かしたこの治具構造は、シンプルな治具構造以外にも被検査体への荷重の均一化に大きく貢献します。ワイヤープローブ治具では、わずか50μmオーバードライブさせる(ピン先端が被検査体に触れてからプローブを押し込んで接触を安定させる）ことで、ほぼプローブの最大荷重値を得ます。このことは、被検査体の平面が多少歪んでいる状態でも、全てのプローブが同じ荷重を得ることができ同一の接触(荷重)を得ることを意味し、検査傷の軽減も期待できます。

また非常にメンテナンス性に優れ、簡単な道具を用いて電極部よりブローブ部ユニットを取り外すことで、クリーンルーム等においても現場作業者が簡単にプローブ交換を行えます。